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機械工程學院舉辦“半導體材料的多能場輔助原子級制造技術”學術講座
發(fā)布時間:2025年05月21日 16:16    作者:圖/米星翰 文/王德慶    點擊:[]

為進一步拓寬學術視野、推動前沿技術應用,2025516日上午10時,機械工程學院在千佛山校區(qū)創(chuàng)新大廈1103室舉辦“半導體材料的多能場輔助原子級制造技術”學術講座,山東大學機械工程學院王沛志研究員主講,學院部分碩博研究生參加了本次講座。

王沛志山東大學機械工程學院研究員、博士研究生導師,主要致力于半導體材料的磨粒加工技術和原子級制造方面的研究。他闡述了原子級制造技術在半導體材料方面的應用,以深入淺出的方式講解了主要的原子級制造技術,使同學們對半導體材料的原子級制造有了清晰的認識。隨后,詳細闡述了光輔助等離子體原子刻蝕和激光輔助原子層刻蝕,揭示了引入多能場輔助下進行原子級制造的機理?,F(xiàn)場學術氣氛熱烈而融洽,同學踴躍提問,王沛志對同學們的問題進行了詳細解答。

講座以其詳實的內容和通俗易懂的講述方式,為同學們全方位展示了半導體材料的多能場輔助原子級制造的研究進展和發(fā)展趨勢。此次講座通過專業(yè)全面的講解和具體案例的分析,拓寬了同學們的創(chuàng)新思維和學術視野,對提升同學們的科研水平具有重要意義。


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